1、表面淬火：精密减速机常见的表面淬火方法有高频淬火(对小尺寸齿轮)和火焰淬火(对大尺寸齿轮)两种。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，齿面硬度可达45-55HRC.
2、渗氮：采用渗氮可保证齿轮在变形最小的条件下，减速机达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后不再进行精加工，提高了承载能力。
3、渗碳淬火：精密减速机渗碳淬火齿轮具有相对较大的承载能力，但必须采用精加工工序(磨齿)来消除热处理变形，以保证精度。
渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的分数为0.2%-0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58-62HRC范围内，若低于57HRC时，硬面强度显著下降，高于62HR则脆性增加。
渗碳淬火齿轮的硬度，从齿轮表面至深层逐渐降低，而有效渗碳深度规定为表面至硬度5.25HRC处的深度。
精密减速机渗碳淬火在齿轮弯曲疲劳强度方面的作用除使心部硬度有所提高外，还在于表面的残余压应力。它可使应力区的应力减小，因此磨齿时不能磨齿根部分。
