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半导体切割用激光裂片专用输出型RV减速机装置

2022-09-14 11:09:14    责任编辑: 富宝科技     0

专用输出型RV减速机多线切割具有以下缺陷:

1、由于碳化硅硬度大,切割时间需要很长,4寸碳化硅棒切割需要二十四个小时左右。

2、原材料切割间隙损耗过大,切割一片需要消耗两片的原材料,造成出片率低。

3、铸锭晶体中存在的硬点可能会在切割过程中造成断线,加大了切割风险。

4、切割后的碳化硅片表面损伤程度较浅、表面划痕密,从而导致了更高的反射率损伤浅层。

目前,碳化硅片生产通常采用多线切割将碳化硅棒切割成碳化硅片,多线切割基本原理为:绕在两个主辊线槽内的钢丝在放、收线筒的带动下对碳化硅棒进行高速磨削运动。在切割过程中需要对金刚线喷洒含砂的新浆,流量要随着晶棒的形状改变而改变,以此保证碳化硅片的表面质量。